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华体会体育:点石成“芯” 梅特勒托利多半导体
发布时间:2022-07-09浏览次数:153

  一直受到广泛的关注近年来半导体行业,方面的影响无论是政策,因素带来的缺芯状况还是由于产能错配等,宣布代工费用涨价以及近日头部厂商,带来了巨大的影响都对于下游产业,行业对于各行各业这也体现出半导体,产业的重要性尤其是科技。

  于台积电、中芯国际等等头部晶圆厂人们对于半导体行业的关注往往集中,个工艺流程精密而复杂的产业而言但实际上对于集成电路制造这样一,艺的良率有着巨大的影响其上游的各类材料也对工,电子化学品等等比如光刻胶、。电子化学品和功能湿电子化学品电子化学品按照种类分为通用湿。化氢等大量使用的高纯液体化学品通用型主要指硫酸、氢氟酸、过氧;特殊工艺需求的化学品功能型则为混配后满足,液、剥离液等等如刻蚀液、显影。

  下游蓬勃需求下在半导体行业,局电子化学品业务已经有众多企业布,制程工艺的需求但想要达到实际,一定的挑战仍然存在。学品生产过程中那么在电子化,量环节需要关注呢有哪些重要的测?

  于半导体湿制程工艺电子化学品主要用,是超纯超净基本要求,量十分严格对于杂质含。MI标准根据SE,子化学品杂质需要控制在ppb级别用于集成电路的G4/G5等级电,ppt级别甚至到达。

  程使用化学品种类的不同另一方面由于不同工艺流,得到不同浓度的药液会对同类化学品稀释,的化学品混配或者不同种类,艺段的应用需求以满足特定工。学品的生产端和使用段因此无论是在电子化,实际浓度的直接测定都涉及到对于化学品,度符合工艺段的需求确保使用的化学品浓,影响生产以避免。

  学品测试过程中在常规的电子化,法对其浓度进行测定一般采用电位滴定仪,择合适的滴定剂和方法即可针对单组份样品的测定选,氧水溶液如对于双,616-2014进行测定可参照国标GB/T 1,铈作为滴定剂进行测定使用高锰酸钾或者硫酸,简单操作,-5min)检测快速(3,果准确测定结,偏差可控制在1%以内测定重复性相对标准。

  则需要根据各组分的情况来设定方法测定对于一些混配的溶液各组分的浓度测定,硝酸、磷酸、醋酸三元混酸如常用的铝刻蚀原液中包含,a值不同分别加以测定可以根据不同酸的pK,如下图所示测试曲线:

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