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华体会体育:国产高能离子注入机成功实现百万
发布时间:2022-06-16浏览次数:64

  者28日从中国电子科技集团有限公司获悉新华社北京6月28日电(记者胡喆)记,注入机成功实现百万电子伏特高能离子加速由该集团旗下电科装备自主研制的高能离子,际先进水平性能达到国。

  介绍据,制造中的关键装备离子注入机是芯片。造过程中在芯片制,预定方式改变材料的电性能需要掺入不同种类的元素按,预定能量并注入至特定半导体材料中这些元素以带电离子的形式被加速至,华体会体育掺杂工艺的芯片制造设备离子注入机即是执行这一。

  入机中技术难度最大的机型高能离子注入机是离子注。以来长久,和较高的行业竞争壁垒因其极大的研发难度,域的“珠穆朗玛峰”被称为离子注入机领,业链上亟待攻克的关键一环是我国集成电路制造装备产。

  领域具有较好的技术积淀电科装备在离子注入机,代半导体等离子注入机产品研发及产业化难题已连续突破中束流、大束流、特种应用及第三,球知名芯片制造企业产品广泛服务于全。

  入机总监张丛表示电科装备离子注,出首台高能离子注入机电科装备将在年底前推,列离子注入机自主创新发展实现我国芯片制造领域全系,供离子注入机成套解决方案并为全球芯片制造企业提。

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